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  • Platorello diamantato per levigatura A153L di 3M™ - Diametro di 108 mm
  • Platorello diamantato per levigatura A153L di 3M™ - Diametro di 108 mm

    ID 3M 7000000265
    • Consente di ridurre il numero di interruzioni di manutenzione, aumentando il risparmio sui costi di proprietà
    • Consente di aumentare la durata del platorello e del disco
    • Diamante protetto da legami chimici e meccaninici; ritenzione superiore
    • L'esclusivo substrato polimerico migliora la resistenza alla corrosione
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    Specifiche
    Aggressività
    6-9
    Applicazioni
    CMP
    Brand
    3M™
    CMP Process
    Cu (barrier), Final Buff, STI Process, W (buff)
    Colore del supporto
    Grigio
    Dimensioni diamante
    151 um
    Dimensioni supporto
    4.25 inch diameter
    Formato del supporto
    Disco, con bordo smussato
    Luogo di produzione
    Stati Uniti
    Materiale abrasivo
    Lega a base di nichel con pattern diamantato
    Materiale supporto
    304 SS, Acciaio inox 304
    Serie prodotto
    A153L
    Superficie di lavoro abrasiva
    Superficie totale
    Tipo di diamante
    Type 3, semi blocky
    Tipo di prodotto
    Pellicola per il controllo solare diamantata
    Dettagli
    • Consente di ridurre il numero di interruzioni di manutenzione, aumentando il risparmio sui costi di proprietà
    • Consente di aumentare la durata del platorello e del disco
    • Diamante protetto da legami chimici e meccaninici; ritenzione superiore
    • L'esclusivo substrato polimerico migliora la resistenza alla corrosione

    I platorelli di levigatura sono stati realizzati per ottenere prestazioni affidabili per tutte le applicazioni di CMP dei semiconduttori. La tecnologia abrasiva di sinterizzazione offre una ritenzione del diamante superiore, grazie al posizionamento e alla protusione controllati.

    Risorse
    Schede tecniche