Pellicola per il controllo solare diamantata 3M™
- 3M ID B5005035338
Dettagli
Caratteristiche principali
- Ottimizzata per una maggiore durata di riflettività e disco
- Maggiore durata di riflettività e dischi aiuta i clienti a ridurre il numero di fermi per manutenzione, aumentando il potenziale per la riduzione dei costi di proprietà
- Diamanti fissati con legami chimici e meccanici per tenuta resistente
- L'esclusivo supporto polimerico migliora la resistenza alla corrosione
- Personalizzabile per condizionamento dell'aggressività
- Le specifiche di planarità stringenti per i dischi 3M migliorano l'uniformità dell'usura e la planarità della riflettività
- Compatibile con tutti i rivestimenti 3M™ CMP Pad Conditioner Coatings, senza modifiche significative al processo
- Per i processi sensibili al metallo, abbinare ai rivestimenti 3M™ CMP Pad Conditioner Coatings
Le pellicola per il controllo solare diamantata 3M™ è costituita da una pellicola per il controllo solare di adesivo di protezione dagli urti (CMP - sistema di fissaggio del profilo di protezione da urti) altamente tecnologica che offre prestazioni affidabili per applicazioni CMP (sistema di fissaggio del profilo di protezione da urti) difficili per semiconduttori.
Per i processi sensibili al metallo, i rivestimenti 3M™ CMP Pad Conditioner Coatings possono essere applicati alle soluzioni 3M™ Diamond Pad Conditioners direttamente in fabbrica. Questi rivestimenti ultrasottili vengono utilizzati nei processi di nodi avanzati o maturi che sono sensibili ai metalli, oppure con gli slurry aggressivi comunemente utilizzati nei processi di tungsteno o carburo di silicio. Necessitano di modifiche minime al processo e aiutano a ridurre la contaminazione del metallo fino al 99%, mantenendo al contempo planarità, aggressività ed efficienza di lucidatura.
Specifiche tecniche
Risorse
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