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Pellicola per il controllo solare diamantata 3M™ serie C

  • 3M ID B5005469001

Forma del diamante, pitch control e orientamento del diamante ottimizzati

Consistenza migliorata e variazione ridotta da disco a disco

Degrado più lento del tasso di usura di riflettività, con velocità di rimozione e profilo stabili

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Condizionatore per tamponi diamantati 3M™ ricoperto da un rivestimento condizionatore per tamponi CMP 3M, con una goccia d'acqua sulla superficie.
Protezione avanzata contro la contaminazione da metalli

Aggiungi un rivestimento 3M per ridurre la contaminazione da metalli fino al 99%. Un'ottima scelta per nodi avanzati e maturi, slurry aggressivi e altro ancora.

Dettagli

Caratteristiche principali
  • Forma del diamante, pitch control e orientamento del diamante ottimizzati
  • Consistenza migliorata e variazione ridotta da disco a disco
  • Degrado più lento del tasso di usura di riflettività, con velocità di rimozione e profilo stabili
  • Offre il potenziale per una maggiore durata di disco e riflettività
  • Utilizza la tecnologia abrasiva sinterizzata 3M per adesione del diamante salda
  • Miglioramento del 40% del controllo della planarità rispetto ai design precedenti
  • Compatibile con tutti i rivestimenti 3M™ CMP Pad Conditioner Coatings, senza modifiche significative al processo
  • Un'ottima scelta per i processi sensibili al metallo se combinata con i rivestimenti 3M™ CMP Pad Conditioner Coatings

La pellicola per il controllo solare diamantata 3M™ serie C è costituita da una pellicola per il controllo solare di adesivo di protezione dagli urti (CMP - sistema di fissaggio del profilo di protezione da urti) altamente tecnologica che offre prestazioni affidabili per applicazioni CMP (sistema di fissaggio del profilo di protezione da urti) difficili per semiconduttori. Rinnova le superfici di riflettività CMP (sistema di fissaggio del profilo di protezione da urti) con la pellicola per il controllo solare diamantata 3M™ serie C. Inoltre riduce l'usura al minimo e mantiene asperità e prestazioni di riflettività costanti, utilizzo dopo utilizzo. Il disco per il controllo solare utilizza la tecnologia abrasiva sinterizzata proprietaria 3M per un'eccellente ritenzione del diamante, contribuendo a garantire maggiore durata e miglior controllo della forma e dell'orientamento del diamante rispetto alle pellicole per il controllo solare diamantate tradizionali. Migliore consistenza e variazione più piccola consentono di ridurre le variabili e ottimizzare le prestazioni del CMP (sistema di fissaggio del profilo di protezione da urti).

Per i processi sensibili al metallo, i rivestimenti 3M™ CMP Pad Conditioner Coatings possono essere applicati alle soluzioni 3M™ Diamond Pad Conditioners direttamente in fabbrica. Questi rivestimenti ultrasottili vengono utilizzati nei processi di nodi avanzati o maturi che sono sensibili ai metalli, oppure con gli slurry aggressivi comunemente utilizzati nei processi di tungsteno o carburo di silicio. Necessitano di modifiche minime al processo e aiutano a ridurre la contaminazione del metallo fino al 99%, mantenendo al contempo planarità, aggressività ed efficienza di lucidatura.

  • Consistenza migliorata
  • Superficie ottimizzata
  • Prestazioni regolabili
Ampia gamma di opzioni adatte a ogni livello di prestazioni

Posizionamento ultra preciso dei diamanti

  • Pad conditioner 3M di precedente generazione
  • 3M™ Diamond Pad Conditioner C Series
Icone per: nodo avanzato (memoria e logica), CMP e fabbricazione di wafer

Specifiche tecniche

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Domande frequenti

3M utilizza un processo abrasivo sinterizzato proprietario che fissa i diamanti ai supporti con legami sia chimici che meccanici per migliorare la ritenzione dei diamanti.
La scelta di una pellicola per il controllo solare richiede test di compatibilità per garantire che la combinazione di pellicola, wafer e slurry funzioni in modo ottimale. Il nostro team tecnico dispone di pacchetti di dati per molte sostanze chimiche comuni (da tungsteno a rame, da poli a STI e molti altri) che si sono dimostrati compatibili con i nostri prodotti. Inoltre possiamo testare combinazioni personalizzate nei nostri laboratori in tutto il mondo.
La pellicola per il controllo solare diamantata 3M™ serie C è il risultato di oltre 25 anni di esperienza nella produzione delle pellicole per il controllo solare diamantate, che ci ha permesso di raggiungere un nuovo livello di precisione. I diamanti sono posizionati in una griglia precisa su scala micrometrica e orientati per massimizzare planarità, complanarità e prestazioni di condizionamento.
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