Pellicola per il controllo solare 3M™ Trizact™ serie T

  • 3M ID B5005469002

Con tecnologia di microreplicazione proprietaria 3M

Durata più lunga e tasso di rimozione più stabile rispetto ai design precedenti

Tasso di usura della riflettività più elevato per consentire soluzione più durevole e costi di esercizio inferiori

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Primo piano di pellicola per il controllo solare 3M™ Trizact™ serie T
Pellicola per il controllo solare 3M™ Trizact™ serie T

L'emblema del nostro impegno per fornire pellicole per il controllo solare costanti, di lunga durata e prive di metalli. Lanciata nel 2023, la pellicola per il controllo solare 3M™ Trizact™ serie T ottimizza la conformazione della superficie per attivazione rafforzata della riflettività, usura molto più lenta e prestazioni costanti per tutta la sua durata.

Dettagli

Caratteristiche principali
  • Con tecnologia di microreplicazione proprietaria 3M
  • Durata più lunga e tasso di rimozione più stabile rispetto ai design precedenti
  • Tasso di usura della riflettività più elevato per consentire soluzione più durevole e costi di esercizio inferiori
  • Grana più grossa per il diamante CVDn che consente attivazione rafforzata della riflettività
  • Migliorata grazie alla nuova tecnologia con microsfere del rivestimento in diamante CVD
  • Compatibile con tutti i rivestimenti 3M™ CMP Pad Conditioner Coatings, senza modifiche significative al processo
  • Superficie di taglio priva di metallo per nodi avanzati sensibili alla contaminazione da metalli
  • Da abbinare ai rivestimenti 3M™ CMP Pad Conditioner Coatings per una protezione aggiuntiva contro la contaminazione dei metalli

Approfitta di una superficie di taglio priva di metallo, adatta a processi con nodi avanzati sensibili alla contaminazione da metallo. Può anche essere utilizzato in combinazione con i rivestimenti 3M™ CMP Pad Conditioner Coatings per contribuire a ridurre la lisciviazione dei metalli fino a un ulteriore 99%, mantenendo al contempo planarità, aggressività e prestazioni di lucidatura.

  • Prestazioni costanti nel tempo
  • Superficie di taglio priva di metallo
  • Riduzione del tasso di usura del pad
  • Prestazioni migliorate
Riduzione del tasso di usura del pad

  • Pad conditioner CMP convenzionale

    Con l'usura dei pad conditioner, il coefficiente di attrito diminuisce rapidamente, con conseguente riduzione del tasso di usura del pad.

  • 3M™ Trizact™ Pad Conditioner T Series

    3M™ Trizact™ Pad Conditioner T Series mantiene la struttura superficiale adattabile delle soluzioni 3M™ Trizact™ Pad Conditioners e la combina con una grana diamantata più elevata per migliorare l'attivazione del pad e limitare il tasso di usura. Questo rivestimento diamantato più ruvido ha un coefficiente di attrito più elevato che aiuta a ridurre il tasso di usura del pad fino a 4 volte.

Figure nodo avanzato (Memory e Logic), CMP (sistema di fissaggio del profilo di protezione da urti) e produzione di wafer

Specifiche tecniche

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Domande frequenti

Sì, la pellicola per il controllo solare 3M™ Trizact™ serie T utilizza un sottile strato di diamante su un substrato ceramico con microreplicazione. La superficie di taglio è priva di metalli ed è ideale per processi delicati di nodi avanzati.
La scelta di una pellicola per il controllo solare richiede test di compatibilità per garantire che la combinazione di pellicola, wafer e slurry funzioni in modo ottimale. Il nostro team tecnico dispone di pacchetti di dati per molte sostanze chimiche comuni (da tungsteno a rame, da poli a STI e molti altri) che si sono dimostrati compatibili con i nostri prodotti. Inoltre possiamo testare combinazioni personalizzate nei nostri laboratori in tutto il mondo.
La pellicola per il controllo solare 3M™ Trizact™ serie T si basa sulla tecnologia collaudata delle pellicole per il controllo solare 3M™ Trizact™. Queste pellicole per il controllo solare presentano una conformazione ottimizzata della superficie più ruvida, per maggiore attivazione della riflettività e tasso di usura ridotto.
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