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Immagine mesh banner hero dei contattori a membrana 3M™ Liqui-Cel™ per semiconduttori e microelettronica

3M™ Liqui-Cel™ Contattori a membrana per semiconduttori e microelettronica

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  • Man mano che la lavorazione dei semiconduttori, la produzione di schermi piatti e altri settori dell'alta tecnologia evolvono verso linee a minori spessori, dimensioni dei wafer maggiori e una tecnologia di visualizzazione più avanzata, il controllo dei gas disciolti risulta essere sempre più una considerazione fondamentale nell'ambito della produzione di acqua ultrapura per i semiconduttori e la microelettronica.

    Grazie alle loro caratteristiche di efficienza, semplicità ed elevate prestazioni di rimozione dei gas, i contattori a membrana 3M™ Liqui-Cel™ sono considerati la tecnologia di riferimento in materia di tecnologia di degassamento nei sistemi di trattamento dell'acqua per i semiconduttori e gli schermi piatti. I contattori a membrana hanno bassi livelli di estraibili e non possono influire negativamente sulla qualità dell'acqua. Con una corretta progettazione del sistema, rimuovono l'O₂ dall'acqua portandolo a meno di 1 ppb e la CO₂ a 0,5 ppm. I bassi livelli di ossigeno disciolto proteggono la resa dei prodotti, mentre i Bassi livelli di CO₂ possono contribuire a ottimizzare l'efficacia dell'elettrodeionizzazione (EDI) e altri processi di scambio ionico.

    A differenza delle tradizionali torri di aspirazione, i sistemi dei contattori a membrana possono essere ampliati. Man mano che i requisiti di volume di acqua crescono, o le specifiche dei gas disciolti si abbassano, è possibile aggiungere ulteriori contattori al sistema per soddisfare l'evoluzione delle esigenze.

    I contattori a membrana 3M™ Liqui-Cel™ inoltre consentono basse concentrazioni e un controllo di precisione dei gas disciolti nell'acqua ultra-pura e di altri fluidi dei processi di lavorazione.


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Controllo del gas disciolto, in primo piano i contattori a membrana per microelettronica e semiconduttori

  • Foto di prodotto: contattore a membrana 3M™ Liqui-Cel™ Serie EXF-10x28

    Contattore a membrana 3M™ Liqui-Cel™ Serie EXF-10x28 per cicli di lucidatura con acqua a elevata purezza

  • Foto di prodotto: contattore a membrana 3M™ Liqui-Cel™ Serie EXF-14x28

    Contattore a membrana 3M™ Liqui-Cel™ Serie EXF-14x28 per i cicli dell'acqua

  • Contattore a membrana 3M™ Liqui-Cel™ Serie SP-4x13

    Contattori di membrana 3M™ Liqui-Cel™ Serie SP-4x13 per soluzioni di processo da banco bagnato


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Risorse per il controllo del gas disciolto e contattori a membrana per il settore della microelettronica e dei semiconduttori

Schede tecniche
Disegni di prodotto

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P&ID (Piping and Instrumentation Diagram, schema meccanico) di sistema generico
Guide tecniche e istruzioni operative
Pubblicazioni e casi di studio

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Divisione 3M Separation Purification Sciences
13840 South Lakes Dr.
Charlotte, NC 28273 USA
Telefono:800802145
Centralino: 02.7035.1
Fax: + 1 980 859 5258

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3M Centre Cain Road
Bracknell, RG12 8HT 5400
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