3M™ Liqui-Cel™ Contattori a membrana per semiconduttori e microelettronica

Man mano che la lavorazione dei semiconduttori, la produzione di schermi piatti e altri settori dell'alta tecnologia evolvono verso linee a minori spessori, dimensioni dei wafer maggiori e una tecnologia di visualizzazione più avanzata, il controllo dei gas disciolti risulta essere sempre più una considerazione fondamentale nell'ambito della produzione di acqua ultrapura per i semiconduttori e la microelettronica.

Grazie alle loro caratteristiche di efficienza, semplicità ed elevate prestazioni di rimozione dei gas, i contattori a membrana 3M™ Liqui-Cel™ sono considerati la tecnologia di riferimento in materia di tecnologia di degassamento nei sistemi di trattamento dell'acqua per i semiconduttori e gli schermi piatti. I contattori a membrana hanno bassi livelli di estraibili e non possono influire negativamente sulla qualità dell'acqua. Con una corretta progettazione del sistema, rimuovono l'O₂ dall'acqua portandolo a meno di 1 ppb e la CO₂ a 0,5 ppm. I bassi livelli di ossigeno disciolto proteggono la resa dei prodotti, mentre i Bassi livelli di CO₂ possono contribuire a ottimizzare l'efficacia dell'elettrodeionizzazione (EDI) e altri processi di scambio ionico.

A differenza delle tradizionali torri di aspirazione, i sistemi dei contattori a membrana possono essere ampliati. Man mano che i requisiti di volume di acqua crescono, o le specifiche dei gas disciolti si abbassano, è possibile aggiungere ulteriori contattori al sistema per soddisfare l'evoluzione delle esigenze.

I contattori a membrana 3M™ Liqui-Cel™ inoltre consentono basse concentrazioni e un controllo di precisione dei gas disciolti nell'acqua ultra-pura e di altri fluidi dei processi di lavorazione.